其主要特征是:
1、中性配方,采用高純硅溶膠為磨料
2、高且可調(diào)控的銅拋光速率
3、低的蝶形坑和侵蝕
4 、沒(méi)有腐蝕,低的缺陷
5、優(yōu)異的表面,表面粗糙度低
6、高濃縮比
7、長(zhǎng)壽命
8、 環(huán)境友好